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Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik (German, Paperback, 3rd Softcover Reprint of the Original 3rd 2004 ed.) Loot Price: R3,189
Discovery Miles 31 890
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Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik (German, Paperback, 3rd Softcover Reprint of the Original 3rd 2004 ed.)

Gerhard Franz

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In diesem Buch werden zunachst die verschiedenen Typen von Plasmen ausfuhrlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstutzte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenatzen, mit denen heute Oberflachen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfaltige Weise modifiziert werden. Besondere Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen, aber auch der Ionenstrahlmethode, gewidmet. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text eingestreut. Fur die Neuauflage wurde das Buch vollstandig neu bearbeitet und aktualisiert. Hinzu kamen neue Kapitel uber Plasmadiagnostik und hochdichte sowie induktiv-gekoppelte Plasmen."

General

Imprint: Springer-Verlag
Country of origin: Germany
Release date: October 2012
First published: October 2012
Authors: Gerhard Franz
Dimensions: 235 x 155 x 29mm (L x W x T)
Format: Paperback - Trade
Pages: 543
Edition: 3rd Softcover Reprint of the Original 3rd 2004 ed.
ISBN-13: 978-3-642-62284-7
Languages: German
Categories: Promotions
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LSN: 3-642-62284-4
Barcode: 9783642622847

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