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Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik (German, Paperback, 3rd Softcover Reprint of the Origi ed.) Loot Price: R2,488
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Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik (German, Paperback, 3rd Softcover Reprint of the Origi ed.): Gerhard Franz
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Niederdruckplasmen Und Mikrostrukturtechnik (German, Paperback, 3rd Softcover Reprint of the Origi ed.)

Gerhard Franz

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In diesem Buch werden zunachst die verschiedenen Typen von Plasmen ausfuhrlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstutzte Anregung mittels Heliconwellen; schliesslich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird. Daran anschliessend erfolgt eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenatzen, mit denen heute Oberflachen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfaltige Weise modifiziert werden. Besondere Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen, aber auch der Ionenstrahlmethode, gewidmet. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text eingestreut. Fur die Neuauflage wurde das Buch vollstandig neu bearbeitet und aktualisiert. Hinzu kamen neue Kapitel uber Plasmadiagnostik und hochdichte sowie induktiv-gekoppelte Plasmen."

General

Imprint: Springer-Verlag
Country of origin: Germany
Release date: October 2012
First published: October 2012
Authors: Gerhard Franz
Dimensions: 234 x 156 x 29mm (L x W x T)
Format: Paperback - Trade
Pages: 543
Edition: 3rd Softcover Reprint of the Origi ed.
ISBN-13: 978-3-642-62284-7
Barcode: 9783642622847
Languages: German
Categories: Promotions
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LSN: 3-642-62284-4

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